光加工グループ

VUVによる光ナノ加工

VUVの持つ高いエネルギーを利用した超微細加工法とナノデバイス作製への応用を研究しています。

関連する研究テーマ

• VUVを用いたマルチマテリアル接合
• VUVを用いた光エッチング
• VUVを用いた空間除菌・不活化